В 2003 г. завод будет переведен на 90-нм техпроцесс на 300-мм полупроводниковых подложках.
23 октября корпорация Intel объявила об открытии нового производства стоимостью $2 млрд. в Рио-Ранчо (шт. Нью-Мексико). На новом заводе, получившем название Fab 11X, будет применяться самая современная технология, по которой будут производиться процессоры на 300-мм подложках с использованием передового технологического процесса с проектной нормой 0,13 микрон. В 2003 г. завод будет переведен на технологический процесс с проектной нормой 90 нанометров. Производственные площади Fab 11X составляют более 90 тыс. квадратных метров, в том числе 18 тыс. квадратных метров "чистых" комнат. В общей сложности заводы корпорации Intel в штате Нью-Мексико - Fab 11 и 11X - располагают теперь 45 тыс. кв м "чистых" помещений.
Изготовление процессоров на 300-миллиметровых подложках позволяет увеличить производительность при одновременном снижении издержек по сравнению со стандартными на сегодня 200-миллиметровыми подложками. Общая площадь 300-миллиметровой подложки в 2,25 раза больше, чем у 200-миллиметровой, а площадь, занятая кристаллами - в 2,4 раза больше. Новая производственная технология также значительно улучшает экологические характеристики производства, которое требует меньшего расхода воды в пересчете на каждый процессор, изготовленный на Fab11X, создает меньше отходов, чем на других заводах. Новый завод будет эффективнее использовать и химические реактивы. По сравнению с заводом, работающим на 200-миллиметровых подложках, Fab 11X будет выбрасывать на 48% меньше летучих органических веществ, расходовать на 42% меньше сверхчистой воды и примерно на 40% меньше энергии.
Любопытные факты о заводе Fab 11X
Автоматизированная система обработки подложек фабрики Fab 11X включает в себя более 5 километров монорельсовых дорог и 165 кареток для доставки контейнеров с подложками на обрабатывающие центры завода.
Компьютерная система, обслуживающая Fab 11X, насчитывает 300 серверов, 500 клиентских компьютеров, 25 тысяч гигабайт дисковой памяти, более 40 км оптоволоконного и более 900 км медного сетевого кабеля.
Fab 11 значительно превосходит по масштабам все существующие в мире полупроводниковые производства. Общая площадь "чистых" помещений завода составляет 27 тыс. квадратных метров. С открытием Fab 11X этот показатель увеличится примерно на 18 тыс. квадратных метров. Чтобы пересечь в среднем темпе все "чистые" помещения Fab 11 и Fab 11X, потребуется не менее 10 минут.
На пике строительства в сооружении F11X участвовало 3 тысячи человек. В общей сложности они провели на стройке более 5,3 миллионов человеко-часов. При этом уровень травматизма оказался рекордно низким - вчетверо ниже среднестатистического для строительной отрасли США.
Затраты рабочего времени в человеко-часах на каждый день строительства F11X были выше затрат времени на строительство двух жилых домов. Только для пополнения запасов питьевой воды на стройплощадке постоянно работали шесть человек.
На строительство F11X ушло около 50 тысяч кубометров (около 6700 машин) бетона. Таким количеством бетона можно было бы покрыть десятиметровым слоем футбольное поле.
Под заводом устроено 1300 подземных кессонов глубиной 15-25 метров каждый. На подземную часть здания ушло больше бетона, чем на надземную. Корпорация Intel уделяет огромное внимание повышению экологических характеристик своих производств, и в ходе строительства завода F11X была реализована программа .экологического проектирования. корпорации Intel. Благодаря этому производство процессоров на Fab11X будет требовать меньше воды и создавать меньше отходов в расчете на один процессор, чем на других заводах корпорации Intel. В результате повышения эффективности использования воды и химикатов на новом производстве снижение удельных показателей составит: по выбросам летучих органических веществ - на 48%, по выбросам опасных атмосферных загрязнителей - на 40%, по потреблению сверхчистой воды - на 42%. Оставшиеся после строительства F11X отходы дерева, упаковочные материалы и даже бетон были утилизированы. Можно добавить, что в 2001 году на стройплощадке было утилизировано 77% твердых отходов. Средства, полученные от утилизации, были использованы для приобретения оборудования в фитнес-центр для сотрудников в новом здании Fab11X.
По материалам пресс-релиза корпорации Intel.
