Исследователи из лабораторий Bell Labs и Lucent Technologies сообщают, что разработали микроскоп, позволяющий рассмотреть единичные атомы примесей в полупроводнике.
Исследователи утверждают, что в скором будущем, когда технологический прогресс преодолеет рубеж в 100 нм (а это произойдет, возможно, уже в будущем году), компаниям, производящим полупроводниковые чипы, непременно понадобятся подобные инструменты.
В Lucent не без основания предполагают, что для отказа чипа, в принципе, достаточно лишь нескольких атомов примесей, "садящихся" возле какого-нибудь элемента. Поэтому в компании и приняли решение о формировании изображения отдельных атомов примесей, что должно позволить определить химический и физический состав в отдельных, очень малых, областях кристалла.
Итак, группе исследователей Bell Labs удалось получить изображение единичных атомов примесей, находящихся в толще полупроводника, используя сканирующий электронный микроскоп. До сих пор ученым удавалось лишь разглядеть атомы, находящиеся на поверхности. При этом утверждается, что в связи с очень высокой чувствительностью, технология Bell Labs может быть применена не только для сканирования полупроводников, а для исследования практически любых материалов, сообщает "iXBT".
